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報道年月日 |
2021/12/05 |
報道機関名 |
日本経済新聞 |
会員名 |
宇部興産 |
タイトル |
半導体洗浄薬液2倍 宇部興産が生産能力増強 |
報道記録の内容 |
宇部興産は半導体洗浄に使う薬液の生産能力を2027年度までに21年度比2倍に増やす。現状は旺盛な半導体需要でフル稼働の状況だ。国内の半導体やシリコンウエハーメーカー向けに供給する。今後見込まれる国内の半導体素材需要の増加に備え、増強を決めた。宇部ケミカル工場で、ウエハーに付着した微細粒子を除去するための洗浄に使う硝酸薬液の生産ラインを増設する。投資額は明らかにしていない。同工場で生産するアンモニアガスを使い、高純度な硝酸を製造し薬液とする。硝酸薬液はウエハーを加工するエッチング工程でも使われる。
宇部興産の硝酸薬液の国内市場シェアは5割以上だ。20年にも同工場の硝酸薬液の生産能力を約3割増強しており、フル稼働の状況だ。増産で同社の国内シェアは6割まで伸びるとみられる。
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