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報道記録
報道年月日 2018/08/01
報道機関名 山口新聞
会員名 (株)トクヤマ
タイトル 半導体製造用薬剤の設備増強
報道記録の内容 周南市の総合化学メーカー、トクヤマは31日、半導体の製造に使う薬剤「テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)」の製造設備を増強すると発表した。増強するのは徳山製造所内の設備で、生産能力は50%増となる。
TMAHは、フォトレジスト用現像液と呼ばれる。純度の高いアルカリ性の溶液で、半導体の製造過程で必要となる。
トクヤマは中期経営計画の成長事業としてICケミカル事業を位置付けており、半導体市場の進展に伴う需要拡大を見込んで設備を増強する。10月ごろに着工し、2020年4月の営業運転開始予定。
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